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Lösungskonzepte
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Anwendungsbeispiele
Ultrapräzises Ätzen
Da die Energie der Laserstrahlen in ultrakurzen Pulsen gebündelt werden
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Anwendungsbeispiele
Ultrapräzises Ätzen
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Da die Energie der Laserstrahlen in ultrakurzen Pulsen gebündelt werden, kann das zu bearbeitende Material direkt verdampft werden. Damit eignen sich Ultrakurzpulslaser ideal für das Präzisionsätzen. Dieses Verfahren wird beispielsweise für das Präzisionsätzen von komplexen Mikrostrukturen wie Filtern, das hochpräzise Ätzen in Blöcken bei großen gekrümmten Oberflächen von Teilen wie Frequenzwählern und das Feinätzen von harten und spröden Materialien wie Keramik, Saphir und Muscheln im Elektronikbereich eingesetzt.
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